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工業服務:MEMS代工,微納尺度制造,硬脆材料高精度切割、高精度打孔、光柵、光波導、高精度打標等。致力于用戶需求、開發了基于生物芯片、微流控芯片、晶圓打孔等系統性解決方案;立足于在加工和檢測領域的深厚積累、開發高質量工藝流程,努力為企業客戶提供更專業、更優質的服務。
科研服務:飛秒激光直寫制造工作站,DLP光刻系統,DMD全息光刻系統,激光加工過程監測系統,殘余應力和內應力檢測設備,專業級晶圓缺陷檢測儀,共聚焦光譜成像表征系統。自研皮秒激光器能量可達10mj、半導體CW激光器、PLW自動化光譜儀系統、活體成像系統、微區角分辨光譜系統;同時代理高能量固體飛秒激光器,超快激光加工系統,超快時間分辨Pump-Probe系統,科研級深度制冷CCD、SCMOS、InGaAs、ICCD、EMCCD……等。

