配置及技術參數(shù)
| 配置 | 項目類型 | 描述 |
| 1 | PLW100A | 可測試Wafer尺寸：2英寸~4英寸 Chuck XY向行程：100mm*100mm Chuck移動分辨率：旋鈕調節(jié) Chuck旋轉范圍： ±5°微調，360°粗調 臺面接觸分離: 10mm,10微米分辨率 Chuck漏電:<1pA 上下片方式：手動旋鈕式 顯微鏡機構調節(jié):Z向±35mm 進口靜音真空泵 |
| 2 | Scope | 雙目體式顯微鏡，LED環(huán)形燈照明，總倍率為:最大90X，物鏡0.7X-4.5X連續(xù)，目鏡20X |
| 3 | PT-301 | 直流針座，磁吸附，帶磁性開關。 X-Y-Z 移動: 12mmx12mmx12mm 線性移動解析: 1.0 um探針夾持器，銅針管直徑4.0mm 金屬銅管長：150mm 接1.5米同軸線 BNC電纜 |
| 4 | P0518 | 直探針尖（針桿直徑0.5mm，長18mm，針尖10-50μm，鎢針） |
